減震臺:光學(xué)激光系統(tǒng)低頻隔振臺
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光學(xué)顯微鏡、激光干涉儀、輪廓儀低頻防震臺/減震臺/隔振臺
激光和光學(xué)系統(tǒng),無論是在學(xué)術(shù)實驗室中使用還是在工業(yè)環(huán)境中,都非常容易受到來自環(huán)境的振動的影響。這些儀器幾乎總是需要隔振。傳統(tǒng)上,大型氣浮平臺已經(jīng)成為光學(xué)系統(tǒng)的首先選擇系統(tǒng)。這種情況已經(jīng)不再是這樣了。根據(jù)振動頻率,負(fù)K隔離器提供空氣表性能的10-100倍。它們不需要空氣或電力,而且緊湊,易于移動。一些用戶需要用面板提供的螺紋孔陣列。在這種情況下,很容易在我們的防振隔離器上安裝一個面板。在兩個或多個隔離器上放置一個較大的面板也是常見的。
基于激光的干涉儀是非常靈敏的裝置,能夠解決納米尺度的運動/特征。它們通常具有非常長的機(jī)械路徑,這使得它們對振動更加敏感。*的現(xiàn)代橢圓偏振測量技術(shù),允許這種高性能依賴于低噪聲能夠檢測條紋運動。適當(dāng)?shù)馗綦x干涉儀將允許它提供盡可能高的分辨率。
光學(xué)輪廓儀對振動具有相似的敏感性。阻止來自典型的長光路的外部振動,改進(jìn)的靈敏度和更可靠的測量。不再需要在夜晚做敏感的測量。
光學(xué)元件系統(tǒng)通常相當(dāng)復(fù)雜。長的光路可以導(dǎo)致振動的角度放大。通常使用的光學(xué)氣動工作臺會使問題變得更糟,因為它們的共振頻率常常與地板振動的共振頻率相匹配。我們的1/2赫茲隔離器提供隔離在這些環(huán)境中,當(dāng)氣浮平臺根本不能。
相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域:
光學(xué)干涉儀
光學(xué)輪廓儀
熒光光學(xué)顯微鏡
共聚焦激光掃描顯微鏡
NSOM SNOM:近場掃描光學(xué)顯微鏡
TIFRM:全內(nèi)反射熒光顯微鏡
SEM:掃描電子顯微鏡
AFM:原子力顯微鏡
SPM:掃描探針顯微鏡
STM:掃描隧道顯微鏡
TEM:透射電子顯微鏡
SEM:掃描電子顯微鏡
減震臺:光學(xué)激光系統(tǒng)低頻隔振臺
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圖1:Sensofar Lynx Profiler on Minus K BM-8

圖2:Park Systems XE-70 AFM on Minus K

圖3:Laser Interferometer scanning piston pins on the production line supprted by a Minus K BM-10

圖4:Coordinate Measuring Machine (CMM) with Laser Interferometer within production a line stablized on Minus K BM-10
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