德州物料凈化用室與潔凈室設備要求

         潔凈室內(nèi)額設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據(jù)設備和物料額特征、性質(zhì)、形狀等設置凈化用室及相應物凈設施。物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

          潔凈室內(nèi)應采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設備和輔助生產(chǎn)設備，并應符合下列要求：表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學物質(zhì)；設備的傳動部件等應密封性能好，并應防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏；對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，應采取防擴散措施；設備的金屬外殼應設置接地設施。

   德州物料凈化用室與潔凈室設備要求，當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室時，宜采取密封隔斷措施。潔凈室內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所使用的工器具進行凈化處理的設施。潔凈室內(nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。潔凈室內(nèi)設置真空泵時，應符合使用潤滑的真空泵應設備除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)；對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可然氣體濃度超過bao炸下限的20%時，應設尾氣處理裝置。在排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分；傳輸易燃、自然化學品或高濃度引起的真空泵，應采用不然泵油，并應配置氮氣吹掃。

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