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百級(jí)無(wú)塵車(chē)間實(shí)驗(yàn)室人員進(jìn)出須知

     當(dāng)前，在芯片生產(chǎn)加工上的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于*的，像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上， 而業(yè)內(nèi)稱(chēng)之為的1K級(jí)別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米 1000個(gè)以?xún)?nèi)。

      所以，百級(jí)無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)裝修進(jìn)入過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間人員必須穿著無(wú)塵服與無(wú)塵鞋，并嚴(yán)格按以下順序進(jìn)入過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間：

1、戴上無(wú)塵帽(頭發(fā)不可露出)。

2、戴上無(wú)塵口罩。

3、穿著無(wú)塵衣(拉上拉鏈后，扣好頸部頭罩)。

4、穿上無(wú)塵鞋。

5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。

6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。

7、進(jìn)入風(fēng)淋室。

8、進(jìn)入ZC 風(fēng)淋室雙門(mén)互鎖后自動(dòng)吹淋，聽(tīng)從風(fēng)淋室語(yǔ)音提示，擺動(dòng)身體，吹凈時(shí)間15秒。

9、在過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)裝修后，動(dòng)作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。

10、工廠稽查小組對(duì)過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間潔凈紀(jì)律，每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。

       無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)裝修的潔凈級(jí)別主要是根據(jù)每立方米的空氣當(dāng)中粒子的直徑大于標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是把微?？刂圃谝粋€(gè)非常小的單位上，在常規(guī)當(dāng)中就是說(shuō)符合微粒的顆粒在我們常見(jiàn)的灰塵當(dāng)中是小 的微乎其微，而對(duì)于那些生產(chǎn)上來(lái)說(shuō)，哪怕一點(diǎn)點(diǎn)的，很少很少的灰塵也會(huì)產(chǎn)生很壞的負(fù)面影響的。上百級(jí)無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)裝修的標(biāo)準(zhǔn)的*就是每立方米將小于0.5 微米粒徑的微 塵數(shù)量控制在 3500個(gè)以下。