旋片式真空泵是以泵為主泵，以旋片真空泵為前級(jí)泵的串聯(lián)而成的。旋片式真空泵選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片式真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn)，并且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速的工作，優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。因?yàn)樾秸婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、地面積小，所以可以替代多臺(tái)機(jī)械式真空泵，因此旋片式真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽，電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。

       實(shí)驗(yàn)室旋片式真空泵低于泵溫下的飽和蒸汽壓時(shí)，即可以隨時(shí)充入氣體排出泵外，而防止凝固在泵油中。此外當(dāng)密閉泵口運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候，已經(jīng)混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或者氣相就會(huì)溶于油中的物質(zhì)，又會(huì)在泵腔內(nèi)從中溢出，這時(shí)如果開氣鎮(zhèn)的任務(wù)，也可以抽除一定量的可凝性的物質(zhì)，從而起到一定污染作用，延伸泵油的運(yùn)用期。實(shí)驗(yàn)室旋片式真空泵油較貴，貨源則是無(wú)限，因此合理運(yùn)用氣鎮(zhèn)有著重大的經(jīng)濟(jì)意義