半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中，各類工藝高純氣體是晶圓加工的重要介質(zhì)。在刻蝕、沉積等多道工序里，高純氣體直接接觸晶圓表面，一旦管路內(nèi)部混入水汽，水分子會附著在晶圓表面，引發(fā)材料氧化、表面缺陷等狀況，給后續(xù)加工流程帶來不少隱患。對工藝高純氣體管路實(shí)施持續(xù)的水分檢測，是半導(dǎo)體產(chǎn)線環(huán)境管控里很關(guān)鍵的一環(huán)，英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀，可用于半導(dǎo)體現(xiàn)場高純工藝氣體管路的露點(diǎn)監(jiān)測作業(yè)。
英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀采用 DIN 面板式安裝結(jié)構(gòu)，能夠安裝在半導(dǎo)體車間的電控機(jī)柜內(nèi)，契合潔凈廠房內(nèi)部設(shè)備的布局規(guī)范。英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀配置 Shaw 氧化鋁傳感器，具備多種量程規(guī)格，測量區(qū)間覆蓋?100℃至 + 20℃露點(diǎn)，可適配不同種類高純工藝氣體的測量條件。英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀搭載背光 LED 顯示屏幕，現(xiàn)場工作人員可以直接查看實(shí)時露點(diǎn)數(shù)值，儀器支持℃、℉、ppm (v) 等多種單位自由切換，方便不同崗位人員讀取氣體水分相關(guān)數(shù)據(jù)。
現(xiàn)場部署階段，英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀接入高純氣體管路的采樣點(diǎn)位，實(shí)現(xiàn)全天候不間斷采集管路當(dāng)中工藝氣體的露點(diǎn)數(shù)據(jù)。英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀搭載兩路可編程報(bào)警繼電器，企業(yè)可對照產(chǎn)線工藝規(guī)范設(shè)定露點(diǎn)報(bào)警閾值。當(dāng)氣源或者管路出現(xiàn)異常，氣體露點(diǎn)超過管控閾值時，英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀便會輸出報(bào)警信號，提醒運(yùn)維人員排查氣源、管路密封以及過濾設(shè)備狀態(tài)，避免攜帶有水分的工藝氣體持續(xù)輸送至晶圓加工工位。
英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀提供隔離 4?20mA 模擬輸出接口，傳感器與主機(jī)之間的布設(shè)距離可以超過 1000 米，監(jiān)測信號能夠?qū)榆囬g PLC 控制系統(tǒng)，完成數(shù)據(jù)上傳與歷史留存，方便技術(shù)人員追溯氣路水分的波動情況。英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀擁有 AutoCal 自動校準(zhǔn)能力，設(shè)備附帶可溯源的校準(zhǔn)證書，便于產(chǎn)線執(zhí)行儀表周期校驗(yàn)工作。傳感器與氣體接觸零部件選用 316 不銹鋼，配套燒結(jié)不銹鋼過濾器，阻隔管路內(nèi)細(xì)微顆粒，降低顆粒對傳感器造成的損耗，適配半導(dǎo)體高純氣路的工況。
依靠英國肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀完成半導(dǎo)體工藝氣體管路的水分檢測，能夠及時發(fā)現(xiàn)氣路內(nèi)的水分異常，降低水汽對晶圓造成的污染，助力半導(dǎo)體產(chǎn)線維持工藝氣體的品質(zhì)穩(wěn)定
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