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半導(dǎo)體特種氣體巡檢 英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 的現(xiàn)場(chǎng)實(shí)測(cè)應(yīng)用

時(shí)間:2026/8/19
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半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中,氬氣、氦氣這類特種惰性氣體被大量用作工藝載氣與保護(hù)氣。氣體內(nèi)部攜帶的微量水汽,即便含量很低,也會(huì)在蝕刻、薄膜沉積等工序里對(duì)晶圓產(chǎn)生負(fù)面影響,容易引發(fā)表面氧化、薄膜針孔等各類工藝缺陷,影響產(chǎn)品生產(chǎn)過程。因此,定期對(duì)供氣管路、氣瓶出口、機(jī)臺(tái)進(jìn)氣端開展氣體濕度檢測(cè),是半導(dǎo)體工廠品質(zhì)管控環(huán)節(jié)里不可que少的一環(huán),英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 可以完成這類特種惰性氣體的現(xiàn)場(chǎng)取樣檢測(cè)工作。

英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 搭載肖氏超高電容氧化鋁傳感器,具備多檔可選量程,能夠適配不同純度等級(jí)氬氣、氦氣的微量水分測(cè)試需求。英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 自帶干燥劑艙室結(jié)構(gòu),每次檢測(cè)前后會(huì)對(duì)傳感器與氣路腔體完成干燥凈化,降低車間環(huán)境濕氣侵入帶來的干擾,減少取樣過程引入的誤差,保障特種氣體取樣檢測(cè)過程穩(wěn)定。
SDHmini.png

半導(dǎo)體車間內(nèi)部檢測(cè)點(diǎn)位分布零散,涵蓋氣體分配柜、氣瓶接口、設(shè)備進(jìn)氣口等多處位置,需要人員移動(dòng)完成多點(diǎn)抽檢。英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 整機(jī)重量 1.75kg,機(jī)身輕便,方便工作人員攜帶流轉(zhuǎn)于各個(gè)測(cè)點(diǎn)。英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 擁有 IP66 防護(hù)等級(jí),可以應(yīng)對(duì)車間機(jī)房、特氣間復(fù)雜的現(xiàn)場(chǎng)工況。英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 內(nèi)置充電鋰電池,可實(shí)現(xiàn) 150 小時(shí)連續(xù)工作,長(zhǎng)時(shí)間巡檢作業(yè)無需頻繁充電。英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 配置彩色 LCD 顯示屏,支持中文界面,可靈活切換露點(diǎn)溫度、ppm (v) 等多種計(jì)量單位,現(xiàn)場(chǎng)直接讀取氬氣、氦氣的濕度數(shù)據(jù)。
英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 配置 AutoCal 自動(dòng)校準(zhǔn)功能,工作人員可直接在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)完成儀表校驗(yàn),不用送回實(shí)驗(yàn)室處理,簡(jiǎn)化儀表維護(hù)流程。英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 支持大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ),能夠保存大量測(cè)點(diǎn)記錄,借助 USB、藍(lán)牙接口,可將檢測(cè)數(shù)據(jù)導(dǎo)出至電腦做歸檔留存,方便工藝人員跟蹤管路氣體濕度的變化趨勢(shì)。依靠英國(guó) SHAW 進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 開展周期性抽檢,能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)管路密封泄漏、純化裝置性能衰減等異常情況,減少水汽給晶圓帶來的工藝缺陷,維護(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定運(yùn)行


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