半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)會(huì)大量使用氮?dú)狻鍤?、氨氣、硅烷等電子高純氣體，這類工藝氣體直接參與晶圓沉積、刻蝕、薄膜生長(zhǎng)等核心工序，氣體內(nèi)部潛藏的微量水汽，會(huì)在高溫工藝環(huán)境下與硅基材料發(fā)生反應(yīng)，在晶圓表面生成氧化雜質(zhì)，造成電路圖形偏移、金屬布線腐蝕，直接拉低芯片良品率，行業(yè)生產(chǎn)規(guī)范普遍要求特氣維持 - 100℃級(jí)超干狀態(tài)，英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 搭載銀色 S 傳感器，適配產(chǎn)線全點(diǎn)位現(xiàn)場(chǎng)抽檢需求。
英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 提供多款傳感模塊選配，銀色 S 傳感器測(cè)量區(qū)間覆蓋 - 100℃至 - 20℃露點(diǎn)，水分量程 0~1000ppm (v)，可以捕捉 ppb 級(jí)別超微量水汽波動(dòng)，剛好匹配電子特氣超低露點(diǎn)管控要求。對(duì)比僅能覆蓋 - 80℃以上區(qū)間的傳感型號(hào)，英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 銀色 S 傳感器可穩(wěn)定完成氣瓶入庫(kù)檢驗(yàn)、純化設(shè)備出口、車間工藝管道、機(jī)臺(tái)進(jìn)氣口等多處超干氣體采樣，0.1℃露點(diǎn)分辨率搭配優(yōu)于 ±0.3℃的重復(fù)性，即便潔凈車間內(nèi)外存在溫濕度差值，多次復(fù)測(cè)數(shù)值波動(dòng)幅度較小，便于工藝人員判斷干燥純化設(shè)備是否性能衰減、管路接口是否存在微量滲漏。
潔凈車間巡檢對(duì)設(shè)備便攜性與環(huán)境適應(yīng)性有實(shí)際要求，英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 整機(jī)重量不足 1.75kg，單人手持即可完成多區(qū)域巡回檢測(cè)；機(jī)身達(dá)到 IP66 防護(hù)等級(jí)，可耐受車間粉塵、溫差變化，內(nèi)置大容量鋰電池充滿后可連續(xù)工作 150 小時(shí)，全天多臺(tái)設(shè)備抽檢無(wú)需中途斷電充電。儀器內(nèi)部搭載專屬干燥劑艙室，兩次取樣間隙傳感器會(huì)被干燥劑wan全包裹隔離，腔體同步完成干燥凈化，隔絕外界環(huán)境濕氣干擾，避免出現(xiàn)露點(diǎn)讀數(shù)虛高、誤判特氣品質(zhì)的情況。
產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)校驗(yàn)無(wú)需復(fù)雜配套設(shè)備，英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 自帶 AutoCal 自動(dòng)校準(zhǔn)功能，工作人員只需按照屏幕菜單指引操作，依靠現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境空氣即可完成儀器校驗(yàn)，不用調(diào)配標(biāo)準(zhǔn)氣源、不用等候外部校準(zhǔn)人員到場(chǎng)，壓縮設(shè)備停機(jī)檢測(cè)時(shí)長(zhǎng)。儀器響應(yīng)速度適配連續(xù)多點(diǎn)采樣，干燥轉(zhuǎn)潮濕工況讀數(shù)穩(wěn)定耗時(shí)短，完成一處硅烷鋼瓶檢測(cè)后可快速切換至氮?dú)夤艿廊?，提升整體巡檢效率。
批量檢測(cè)數(shù)據(jù)可完整留存追溯，英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 能夠存儲(chǔ)三十萬(wàn)組帶有時(shí)間標(biāo)記的測(cè)量記錄，支持 USB、藍(lán)牙兩種傳輸模式，巡檢結(jié)束后可將全部高純氣體露點(diǎn)數(shù)據(jù)導(dǎo)入電腦歸檔。工藝人員通過(guò)長(zhǎng)期數(shù)據(jù)對(duì)比，能夠提前預(yù)判分子篩吸附飽和周期、管路密封老化節(jié)點(diǎn)，及時(shí)開展維護(hù)作業(yè)，從源頭控制電子特氣含水量，減少晶圓氧化瑕疵，穩(wěn)定芯片生產(chǎn)良品水平。
儀器搭載全彩液晶大屏與十種操作語(yǔ)言，界面操作邏輯清晰，半導(dǎo)體車間工藝人員簡(jiǎn)單熟悉流程后，就能獨(dú)立操作英國(guó) SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SDHmini 完成氮?dú)?、氬氣、氨氣、硅烷等各類電子高純氣體露點(diǎn)檢測(cè)，持續(xù)筑牢產(chǎn)線超干燥工藝防線
太康县|
德保县|
长宁区|
高尔夫|
朝阳县|
新津县|
宁阳县|
融水|
新竹县|
绿春县|
宜都市|
余江县|
太白县|
三亚市|
榆林市|
勐海县|
遵义县|
鄯善县|
辛集市|
龙里县|
广元市|
繁峙县|
前郭尔|
博客|
随州市|
黎平县|
久治县|
临泽县|
丰台区|
南康市|
墨脱县|
刚察县|
婺源县|
曲周县|
射阳县|
吉林市|
上林县|
温州市|
西宁市|
汝南县|
德化县|