半導(dǎo)體晶圓制造高度依賴高純氬、氮、氫氣作為工藝載氣，刻蝕、擴(kuò)散、封裝三大核心工序全程依靠惰性氣體隔絕雜質(zhì)。管路、純化裝置細(xì)微滲漏帶來(lái)的微量水汽，看似微不足道，卻會(huì)在高溫、真空環(huán)境下與硅片、金屬布線發(fā)生反應(yīng)，生成氧化層，造成刻蝕側(cè)壁粗糙、薄膜針孔、焊線虛焊等缺陷，大批量高價(jià)值晶圓直接報(bào)廢。想要實(shí)現(xiàn)載氣露點(diǎn)全流程閉環(huán)管控，從源頭消除水分帶來(lái)的良率損耗，英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 是晶圓廠載氣監(jiān)測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)配置。
不少芯片廠房曾依靠人工定時(shí)取樣檢測(cè)載氣露點(diǎn)，監(jiān)測(cè)存在明顯空檔：純化分子篩失效、管路接頭微漏、氫氣供氣帶水等隱患無(wú)法第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)，等到測(cè)試檢出大量不良芯片，早已產(chǎn)生巨額原料與產(chǎn)能損失。英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 可多點(diǎn)分布式安裝，分別布設(shè)在刻蝕機(jī)氬氣進(jìn)氣管道、擴(kuò)散爐氮?dú)浠旌蠚夤苈?、封裝腔體保護(hù)氣前端，實(shí)現(xiàn) 7×24 小時(shí)不間斷在線露點(diǎn)測(cè)量，全程把控載氣干燥指標(biāo)。英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 搭載原廠氧化鋁高精度傳感器，量程覆蓋 - 100℃至 + 20℃露點(diǎn)，多規(guī)格探頭適配不同高純載氣工況，±2℃整機(jī)測(cè)量精度搭配 0.1℃高分辨率，ppmV 級(jí)微量水分波動(dòng)均可快速捕捉，干轉(zhuǎn)濕響應(yīng)僅 20 秒，提前預(yù)判純化設(shè)備性能衰減。
半導(dǎo)體潔凈車間對(duì)儀表材質(zhì)、抗污能力、布線靈活性要求嚴(yán)苛，英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 針對(duì)性適配無(wú)塵產(chǎn)線環(huán)境。探頭采用 316 不銹鋼材質(zhì)，搭配 50 微米燒結(jié)不銹鋼過(guò)濾器，阻隔管路微粒、工藝副產(chǎn)物，避免傳感器污染漂移；主機(jī)與傳感器最長(zhǎng)支持千米遠(yuǎn)距離布線，大型 Fab 多條長(zhǎng)距離載氣總管無(wú)需增設(shè)中轉(zhuǎn)監(jiān)測(cè)機(jī)柜，布線改造簡(jiǎn)單高效。英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 配備兩路獨(dú)立可編程報(bào)警繼電器，工藝工程師可根據(jù)刻蝕、擴(kuò)散、封裝不同工序設(shè)定專屬露點(diǎn)閾值，載氣水分超標(biāo)即刻觸發(fā)報(bào)警，同步輸出隔離 4-20mA 信號(hào)對(duì)接廠區(qū) MES 與 PLC 系統(tǒng)，數(shù)據(jù)全程留存可追溯，方便快速定位漏氣、純化失效點(diǎn)位。
便捷的 AutoCal 自動(dòng)校準(zhǔn)功能是英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 一大優(yōu)勢(shì)，出廠附帶可溯源國(guó)際 NPL 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)證書，長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)穩(wěn)定無(wú)漂移，儀表與傳感器享受一整年原廠質(zhì)保，大幅降低產(chǎn)線儀表運(yùn)維成本。如今國(guó)內(nèi)多家 12 英寸晶圓制造、封測(cè)企業(yè)，全線部署英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 搭建高純載氣監(jiān)測(cè)網(wǎng)絡(luò)。依托英國(guó) SHAW 在線露點(diǎn)儀 Superdew3 不間斷、穩(wěn)定可靠的露點(diǎn)數(shù)據(jù)，氬、氮、氫載氣水分得到精準(zhǔn)管控，刻蝕圖形偏移、擴(kuò)散薄膜缺陷、封裝焊線氧化等不良問(wèn)題大幅減少，芯片生產(chǎn)良率穩(wěn)步提升，為半導(dǎo)體納米制程筑牢高純氣源的水分防護(hù)屏障
