半導(dǎo)體先進(jìn)制程里，硅烷、氨氣、氬氣、氮?dú)馐强涛g、沉積、離子注入環(huán)節(jié)不可huo缺的工藝氣體，管路內(nèi) ppb 級(jí)微量水分，會(huì)直接與硅基底發(fā)生反應(yīng)生成原生氧化層，造成光刻圖形偏移、薄膜針孔、電路導(dǎo)通異常，大幅拉低晶圓良率。想要從源頭遏制晶圓氧化缺陷，穩(wěn)定、耐腐蝕、超寬低霜點(diǎn)量程的監(jiān)測設(shè)備必不ke少，美國 Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster，正是各大晶圓廠特氣管線水分管控的核心監(jiān)測設(shè)備。
普通氧化鋁、電容式露點(diǎn)傳感器極易被硅烷、氨氣腐蝕中毒，長期運(yùn)行數(shù)據(jù)漂移嚴(yán)重，無法適配腐蝕性特種氣體工況，而美國 Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 搭載專屬 X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器，整體流路采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐硅烷水解產(chǎn)物、氨氣弱腐蝕介質(zhì)侵蝕，長時(shí)間接觸腐蝕性特氣也不會(huì)出現(xiàn)傳感失效，wan美適配各類電子特氣不間斷在線監(jiān)測需求。
美國 Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 依托冷鏡主測量原理，無長期零點(diǎn)漂移，標(biāo)配 ±0.2℃露霜點(diǎn)測量精度，可選 ±0.1℃高精度版本，搭配 X3LC、X3CC 液冷傳感器，zui低可測 - 90℃霜點(diǎn)，精準(zhǔn)捕捉硅烷、氨氣、氬氣、氮?dú)庵形⒘克兓瑢?shí)時(shí)輸出 ppmv、露點(diǎn)、壓力多組數(shù)據(jù)，讓工藝人員第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)干燥機(jī)失效、管路滲漏等水分超標(biāo)隱患，從源頭規(guī)避晶圓氧化缺陷。
在高純氮?dú)狻鍤獗Ｗo(hù)氣總管、硅烷鋼瓶輸出管路、氨氣純化裝置后端，均可部署美國 Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster。設(shè)備支持遠(yuǎn)程傳感布設(shè)，傳感器與主機(jī)最遠(yuǎn)可相隔 76 米，潔凈車間、特氣柜狹小空間都能靈活安裝；自帶自動(dòng)平衡光學(xué)校正功能，即便鏡面附著微量工藝雜質(zhì)，也能自動(dòng)修正測量偏差，保障長期監(jiān)測數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。
美國 Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 配套多路信號(hào)輸出、可編程報(bào)警繼電器，水分超標(biāo)時(shí)可聯(lián)動(dòng)純化系統(tǒng)自動(dòng)再生，構(gòu)建特氣水分閉環(huán)管控。整機(jī)美國原廠制造，具備 NIST 溯源資質(zhì)，測量數(shù)據(jù)符合半導(dǎo)體行業(yè)檢測規(guī)范，X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器兼顧高壓、腐蝕、超低露點(diǎn)多重嚴(yán)苛工況。
依靠美國 Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 持續(xù)監(jiān)測各類工藝氣體微量水分，搭配 X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器抵御特氣腐蝕，企業(yè)得以牢牢守住氣體濕度紅線，che底杜絕水汽引發(fā)的晶圓氧化缺陷，穩(wěn)定芯片生產(chǎn)良率，是半導(dǎo)體特氣水分監(jiān)測無可ti代的專業(yè)設(shè)備
