在半導(dǎo)體與電子制造領(lǐng)域，潔凈室環(huán)境中的每一個微量水分子都可能成為芯片生產(chǎn)的"隱形殺手"。超純氣體和高純氮氣中若殘留過量水分，極易導(dǎo)致芯片表面氧化、電路腐蝕，進(jìn)而引發(fā)產(chǎn)品缺陷，造成巨大的經(jīng)濟損失。如何在潔凈室中快速、準(zhǔn)確地檢測超純氣體和氮氣中的微量水分，成為半導(dǎo)體企業(yè)品控環(huán)節(jié)的核心需求。英國SHAW公司推出的SDHmini便攜式露點儀，憑借其高精度與強適應(yīng)性，成為這一場景下的理想檢測工具。

輕便堅固，深入潔凈室現(xiàn)場

半導(dǎo)體潔凈室對設(shè)備的體積、重量和潔凈度都有嚴(yán)格要求。SDHmini整機重量不到1.75kg，外殼達(dá)到IP66/NEMA 4X防護(hù)等級，可在－20℃至＋50℃的環(huán)境中穩(wěn)定運行，輕松適應(yīng)千級甚至百級潔凈室的苛刻條件。內(nèi)置可充電鋰電池支持連續(xù)150小時操作，充電僅需12小時，滿足多班次連續(xù)巡檢的續(xù)航需求，減少因充電造成的檢測中斷。

高精度測量，守護(hù)芯片品質(zhì)

半導(dǎo)體制造對氣體純度要求ji高，露點通常需控制在－80℃以下。SDHmini搭載肖氏超高電容氧化鋁傳感器，測量范圍覆蓋－100℃至＋20℃露點，分辨率達(dá)0.1℃露點或0.1ppm(v)，準(zhǔn)確度為±2℃露點，重復(fù)性優(yōu)于±0.3℃露點。針對超純氣體檢測需求，用戶可選擇紫色型號（－100～0℃露點，0～6,000ppm(v)）或銀色型號（－100～－20℃露點，0～1,000ppm(v)），精準(zhǔn)覆蓋低露點檢測場景。同時支持℃、ppm(v)、ppm(w)、g/m3、lbs/MMscf等多種單位切換，方便直接對照SEMI等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定。

自動校準(zhǔn)，即測即用不停機

潔凈室檢測時間窗口緊張，傳統(tǒng)露點儀需攜帶標(biāo)準(zhǔn)氣體到現(xiàn)場校準(zhǔn)，流程繁瑣且可能引入污染。SDHmini獨you的AutoCal自動校準(zhǔn)技術(shù)，只需將傳感器短暫暴露于環(huán)境空氣中即可完成校準(zhǔn)，無需任何標(biāo)準(zhǔn)氣體或?qū)I(yè)技術(shù)人員，大幅降低了校準(zhǔn)成本與停機時間，讓檢測人員在任何潔凈室站點都能快速獲得可靠數(shù)據(jù)。

數(shù)據(jù)可追溯，助力良率提升

半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)數(shù)據(jù)的完整性要求ji高。SDHmini可實時記錄多達(dá)300,000個數(shù)據(jù)點，支持通過USB或藍(lán)牙傳輸至PC并打印。用戶可為多達(dá)20個獨立位置設(shè)置ID，方便對不同氣體管路、不同機臺的檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分類歸檔，為潔凈室氣體質(zhì)量管理和良率分析提供完整的數(shù)據(jù)支撐。

從超純氣體驗收到日常巡檢，英國SHAW SDHmini以其精準(zhǔn)、耐用、易用的特性，為半導(dǎo)體潔凈室的微量水分監(jiān)控提供了值得信賴的檢測方案，助力企業(yè)守護(hù)芯片品質(zhì)與生產(chǎn)良率