在半導體與電子工業(yè)中，氯氣干法蝕刻是制造芯片和微電子器件的關(guān)鍵工藝，通過氯基等離子體精確去除材料層，賦予產(chǎn)品納米級的精細結(jié)構(gòu)。然而，氯氣的高毒性與強腐蝕性，使得蝕刻車間的濃度監(jiān)控成為安全管理的核心環(huán)節(jié)。一旦氯氣泄漏或濃度失控，不僅危及操作人員健康，還可能導致價值高昂的晶圓報廢。英國Alphasense推出的CL2-A1氯氣傳感器，以其出色的性能參數(shù)，為半導體蝕刻車間的氯氣精準監(jiān)測提供了可靠方案。

高靈敏度與快響應，守護蝕刻精度。 半導體蝕刻工藝對氯氣濃度的波動十分敏感，CL2-A1在10ppm氯氣中的靈敏度為±0.4 nA/ppm，從零點到10ppm的t90響應時間小于60秒（33Ω負載電阻），能夠在濃度異常時迅速發(fā)出預警信號，為操作人員調(diào)整工藝參數(shù)或啟動排風系統(tǒng)爭取寶貴時間。

寬量程覆蓋，適配蝕刻工況。 蝕刻設備內(nèi)部氯氣濃度較高，而設備周邊及排氣口則以低濃度為主。CL2-A1的量程為0~350ppm，其中0~5ppm區(qū)間呈線性響應，既能滿足設備周邊微量泄漏的精準檢測，也能覆蓋蝕刻腔體內(nèi)部高濃度環(huán)境的監(jiān)控需求。其過載能力達50ppm，可對氣體脈沖實現(xiàn)穩(wěn)定反應，有效應對蝕刻開腔瞬間的濃度沖擊。

環(huán)境適應力強，滿足潔凈室要求。 半導體車間通常溫濕度控制嚴格，CL2-A1的工作溫度范圍為-20°C至50°C，濕度適應范圍達15%至90%RH，壓力適應范圍為80至120kPa，wan全覆蓋潔凈室及配套設施的各類工況。其零點漂移每年小于0.05ppm，靈敏度漂移每年小于10%，工作壽命超過24個月，長期運行仍能保持穩(wěn)定輸出，顯著降低了傳感器的更換頻率。

抗干擾出色，確保數(shù)據(jù)可靠。 半導體車間中可能存在H?S、NO?、SO?等多種工藝伴隨氣體，CL2-A1對CO（400ppm）、H?（400ppm）、C?H?（400ppm）等氣體的靈敏度影響均低于0.1%，即便在多氣體共存的復雜環(huán)境中，也能準確輸出氯氣濃度數(shù)據(jù)，避免干擾導致的誤報。

CL2-A1重量不到6克，搭配33Ω優(yōu)化負載設計，可靈活集成于固定式在線監(jiān)測系統(tǒng)或便攜式巡檢設備中，廣泛部署于蝕刻腔體、氯氣供氣管路及廢氣處理通道等關(guān)鍵節(jié)點，為半導體產(chǎn)線筑起一道可靠的氯氣安全防線