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滑閥真空泵工作原理：

另一種典形的旋轉(zhuǎn)真空泵為滑閥真空泵，泵殼內(nèi)裝一偏心的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子上有若干槽，槽內(nèi)有可以滑動的滑片。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)地槽內(nèi)的滑片向四周伸出，不與泵殼接觸。氣體于滑片與泵殼所包圍的空間擴大的一側(cè)吸入，于二者所包圍的空間縮小的它側(cè)排出。滑片真空泵所產(chǎn)生的低壓可達0.06Pa。相比旋片真空泵運行更加穩(wěn)定，耐用性更強。

噴射式真空泵工作原理：

噴射泵是利用流動時的動能與靜壓能相互轉(zhuǎn)化的原理來吸送流體的，工作液體可以是蒸汽，也可以是液體。

噴射泵由工作噴嘴和擴壓器及混合室相連而組成。工作噴嘴和擴壓器這兩個部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道。工作蒸氣在高壓下以很高的速度從噴嘴噴出，在噴射過程中，氣流通過噴嘴可將靜壓能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽堋９ぷ髡羝麎簭姾捅玫某隹趬簭娭g的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動。

在這個特殊管道中，蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴壓器入口之間的這個區(qū)域（混合室），由于蒸汽流處于G速而出現(xiàn)一個負壓區(qū)。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和泵出口處所能承受的Z大壓強（反壓強）低很多。此時，被抽氣體吸進混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉(zhuǎn)變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張某而產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴流動時是降速增壓的?；旌蠚饬髟跀U壓器出口處，壓力增加，速度下降，而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機。