烘膠臺（WH-HP-01）是汶顥股份獨立開發(fā)，專門用于光刻工藝中的前烘和堅膜，依據工藝需要設定不同的溫度，依次發(fā)生變化。 該設備采用 PID 控溫系統(tǒng)，自動測溫控溫，并具有兩段式自動升溫，烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。本產品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應用于科研和生產。
與傳統(tǒng)的烘箱，真空干燥箱相比，優(yōu)勢有以下幾點：烘膠時間短、重復性高、薄膜固化效果

產品簡介

       在微流控芯片領域，PDMS 芯片是其中應用的一類芯片，制備PDMS 芯片的主流工藝為光刻工藝，烘膠是此工藝的其中一步，而溫度控制對于烘膠來說，是zui為關鍵的。

                                                         烘膠臺

       烘膠臺（WH-HP-01）是汶顥股份獨立開發(fā)，專門用于光刻工藝中的前烘和堅膜，依據工藝需要設定不同的溫度，依次發(fā)生變化。 該設備采用 PID 控溫系統(tǒng)，自動測溫控溫，并具有兩段式自動升溫，烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。本產品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應用于科研和生產。

與傳統(tǒng)的烘箱，真空干燥箱相比，優(yōu)勢有以下幾點：烘膠時間短、重復性高、薄膜固化效果好，烘膠速度快，效率高。

 

性能參數

（1）電源輸入：AC220V±10V，50HZ      

（2）功率：650W

（3）參數設定：觸摸屏設置參數

（4）控溫形式：PID控溫系統(tǒng)

（5）烘膠溫度：≤200℃

（6）控溫精度：±1℃

（7）烘膠板規(guī)格：φ200

（8）外形尺寸：360*280*170mm

（9）整機重量：15kg

 

操作說明

（1）開機：接通電源打開背面電源開關，觸摸屏點亮，進入溫度顯示界面，進入待機狀態(tài)。

（2）設定溫度：點擊觸摸屏進入參數設置界面，分別設置一階段溫度、維持時間和二階段溫度、維持時間。

（3）啟動運行：點擊觸摸屏進入溫度顯示界面，點擊啟動，此時設備開始按設定溫度升溫，并能觀測溫度實時曲線，當前溫度與目標溫度相差1℃時，開始計算階段溫度剩余時間。

（4）停止加熱：點擊停止鍵，風扇開始運作，設備停止加熱進入降溫狀態(tài)。

（5）冷卻關機：烘膠結束后，烘膠板還在高溫狀態(tài)，此時應繼續(xù)保持通電一段時間，以便設備降溫冷卻，避免因關機時溫度過高造成儀器內部損壞和使用人員燙傷，當溫度降至50℃以下時關閉電源開關，并拔掉電源插頭。