半自動真空探針臺可用于芯片、部分晶圓和整個晶圓（200mm以下）的研發(fā)至生產(chǎn)中。適用于MEMS、傳感器、開關(guān)、微測熱輻射計或真空封裝的任何產(chǎn)品。可根據(jù)客戶需求進行定制，以滿足各種應(yīng)用和預(yù)算。 半自動探針系統(tǒng)將在真空環(huán)境中測試200mm以下的晶圓或基板。也可以測試單個芯片和破碎/部分晶圓。該系統(tǒng)是使用SemiProbe的PS4L自適應(yīng)架構(gòu)構(gòu)建的。所有關(guān)鍵模塊都是可互換的，以提供的靈活性。

Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 產(chǎn)品描述：

Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 采用PS4L技術(shù)制造了一系列真空探測系統(tǒng)，可在真空環(huán)境中測試晶片或基板。此外，單個模具和破損/部分晶圓可以用真空探測系統(tǒng)進行測試。所有關(guān)鍵模塊都可以更換和升級。SA-xVP半自動真空探針臺可用于芯片、部分晶圓和整個晶圓（200mm以下）的研發(fā)至生產(chǎn)中。該真空探針臺是MEMS、傳感器、開關(guān)、微測熱輻射計或真空封裝產(chǎn)品的理想選擇?？筛鶕?jù)客戶需求進行定制，以滿足各種應(yīng)用和預(yù)算。

Probe System for Life (PS4L) 探針臺：

Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 采用了SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計，提供了的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費用。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，支架,卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的。這使得 PS4L探針臺以極低的價格便可滿足多種應(yīng)用需求，為客戶提供了的解決方案。更重要的是，PS4L可根據(jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進行現(xiàn)場升級以滿足新的要求。這樣的設(shè)計理念使得即使當晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L也無需重新更換新的平臺，便可用最短的時效和的費用完成有效的測試。

真空系統(tǒng)：

半自動探針系統(tǒng)將在真空環(huán)境中測試200mm以下的晶圓或基板。也可以測試單個芯片和破碎/部分晶圓。該系統(tǒng)是使用SemiProbe的PS4L自適應(yīng)架構(gòu)構(gòu)建的。所有關(guān)鍵模塊都是可互換的，以提供的靈活性。該系統(tǒng)非常適合于研究、實驗室或試生產(chǎn)應(yīng)用?？筛鼡Q的模塊使其易于轉(zhuǎn)換，為各種應(yīng)用提供測試解決方案-直流、高頻、光電、微機電系統(tǒng)、納米技術(shù)等等。該系統(tǒng)易于定制，以滿足各種應(yīng)用和預(yù)算。所有模塊都是可更換的，可以根據(jù)需要添加許多附件。有幾種不同類型的真空泵和控制器可滿足各種真空度。

技術(shù)參數(shù)：

型號：SA-4VP

• 晶圓/基板尺寸：100mm
• 晶圓卡盤：可達100mm
• 卡盤支架行程（X,Y)：105 mm x 105 mm

型號：SA-6VP

• 晶圓/基板尺寸：150mm
• 晶圓卡盤：可達150mm
• 卡盤支架行程（X,Y)：155 mm x 155 mm

型號：SA-8VP

• 晶圓/基板尺寸：200 mm
• 晶圓卡盤：可達200mm
• 卡盤支架行程（X,Y)：205 mm x 205 mm

• 精確度：+/- 3.0μm
• 分辨率：0.1 μm
• 重復(fù)精度：+/- 0.5 μm
• Z軸行程：15mm
• Z軸分辨率：0.5μm
• Z軸重復(fù)精度：+/- 1.5 μm
• θ轉(zhuǎn)軸：+/- 4度
• 電動機：帶編碼器的直流步進電動機
• 卡盤支架的真空吸力：10^-5 torr
• 信號和驅(qū)動隔板：同軸、三軸或25針D連接器
• 設(shè)備觸點：最多8個可編程操縱器（要求選擇腔室頂部）
• 探針卡：圓形或矩形-工業(yè)標準4.5“x 12"
• 腔室頂部：2個標準腔室頂部-探針卡應(yīng)用的平頂部和可編程操縱器應(yīng)用的高頂部
• 熱卡盤：尺寸和溫度可選。典型:-65^oC-300^oC
• 光學(xué)元件/顯微鏡移動：50x50mm(標準)-手動或可編程
• 光學(xué)元件Z軸行程：50mm-100mm – 手動、氣動或可編程
• 光學(xué)元件/顯微鏡：立體變焦、復(fù)合變焦、變焦管、AZoom
• 變焦范圍：2x-40x，取決于所選的顯微鏡
• 放大倍數(shù)：7x-400x，取決于所選的顯微鏡
• 精密真空控制：MKS儀器精密真空控制提供100torr – 1mtorr的真空度控制
• 真空泵系統(tǒng)：雙極泵系統(tǒng)，降至10-6 torr
• 泵類型：旋轉(zhuǎn)葉片、渦旋、渦輪分子或TPS緊湊型（粗加工和渦輪分子）

配件：

• 操縱器、探針臂、探針頭、探針卡夾、CCTV系統(tǒng)、激光切割機、
• Polytec MSA-500運動分析儀、紅外黑體、熱卡盤

PILOT軟件顯示:

PILOT軟件主屏幕顯示與導(dǎo)航儀和晶圓映射模塊，顯微鏡和操縱器控制和集成視頻顯示