主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION 是一款緊湊型有源隔振臺，對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION隔振臺允許在一定的大小范圍內(nèi)增設(shè)額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺也是支持納米技術(shù)的解決方案。

產(chǎn)品特點：

• 主動隔振頻率：1Hz – 200Hz
• 被動防振頻率>200Hz
• 5-20 毫秒的響應(yīng)時間
• 安裝簡單，容易使用
• 能連續(xù)使用多年
• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計

產(chǎn)品應(yīng)用：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• UHV-SPM
• 隧道顯微鏡
• 大型的對震動敏感的儀器

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 系統(tǒng)主動檢測輸入震動并動態(tài)消除
• 六個角度自由隔振
• 內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振
• 提供優(yōu)秀的低頻段隔振能力
• 無低頻共振并沒有空氣要求

技術(shù)參數(shù)：

隔振范圍：主動:1-200Hz ; 被動: >200Hz

傳輸率：超過 10Hz 的傳輸< -35 dB

模塊尺寸：W 11.3" x D 28.4" x H 4.5" (AVI-600)

模塊重量： 60 KG / 132 Lbs

靜態(tài)柔度(每個模塊)

垂直方向：約 12 μm / N

水平方向：約 6 μm / N

系統(tǒng)噪聲：少于 50nG/√Hz

耗電量：27 W(典型配置)

輸入電壓：90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8"

性能監(jiān)控：通過在示波器上顯示的一個復(fù)用信號來表示是否帶有隔振效果的震動等級

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION 可選型號：