詳細(xì)介紹
產(chǎn)品描述:
AVI-400系列可以主動檢測輸入振動并動態(tài)消除,六個空間方向的自由隔振,系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振,低頻隔振性能優(yōu)秀,無低頻共振、無空氣要求!自動調(diào)節(jié)負(fù)載,即插即用。LCD顯示屏實時顯示振動情況,多種面板定制選擇。
主動隔振臺AVI-400 work station,模塊化、易于安裝的設(shè)計,主動式減震平臺-主動隔振平臺-主動式隔振平臺 AVI-400系列廣泛運用于各種需要高性能振動隔離的儀器。 為各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,,輪廓儀,電子太平,超快激光系統(tǒng),時頻系統(tǒng),大型半導(dǎo)體設(shè)備,激光設(shè)備主動減振。

工作原理:
Herz AVI-400使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
AVI-400系列采用的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。AVI系列利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。可為實驗室中對震動敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
產(chǎn)品特點: - 主動隔振頻率5Hz – 200Hz
- 被動隔振頻率>200Hz
- 5-20ms的響應(yīng)時間
- 安裝簡單,容易使用
- 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
- 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計
- 多種規(guī)格尺寸的面板支持各種研究及應(yīng)用
產(chǎn)品應(yīng)用:
- SEM
- TEM
- UHV-SPM
- 光刻
- 光譜測量
- 高精度測量
- 其他高精密儀器
性能優(yōu)勢:
- 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
- 六個空間方向的自由隔振
- 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振
- 低頻隔振性能優(yōu)秀
- 無低頻共振、無空氣要求
兼容性:
主動式減震平臺-主動隔振平臺-主動式隔振平臺 AVI-400系列可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)(負(fù)載能力:高達(dá)800kg) :

隔振實例:

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