電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是測定超痕量元素和同位素比值的分析方法。由等離子體發(fā)生器，霧化室，炬管，四極質(zhì)譜儀和一個快速通道電子倍增管組成。等離子體質(zhì)譜儀接口的功能是將等離子體中的離子有效傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀。

 

　　電感耦合等離子體質(zhì)譜儀具有很低的檢出限，基體效應(yīng)小，譜線簡單，能同時測定許多元素，動態(tài)線性范圍寬及能快速測定同位素比值。地質(zhì)學(xué)中用于測定巖石、礦石、礦物、包裹體，地下水中微量、痕量和超痕量的金屬元素，某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。電感耦合等離子體質(zhì)譜分析時對水質(zhì)要求非常高，對水中的離子含量、TOC、顆粒物要求都非常高，對這幾塊的物質(zhì)都要做特殊處理。建議用對這塊物質(zhì)做特殊處理的超純水機現(xiàn)制現(xiàn)用超純水。

 

　　接口是質(zhì)譜儀關(guān)鍵的部分。質(zhì)譜儀和等離子體之間的溫度、壓力、濃度存在巨大差異，質(zhì)譜儀要求在高真空和常溫條件下工作（質(zhì)譜儀要求離子在運動中不產(chǎn)生碰撞），而等離子體是在常壓下工作。

 

　　接口要使足夠多的等離子體在這兩個壓力差異巨大的區(qū)域之間有效傳輸，并且在離子傳輸?shù)倪^程中，不應(yīng)該產(chǎn)生任何影響終分析結(jié)果可靠性的反應(yīng)，即樣品離子在性質(zhì)和相對比例上不應(yīng)有變化。

 

　　質(zhì)譜干擾包括同質(zhì)異位素干擾、氧化物干擾、氫化物干擾、雙電荷離子干擾、多原子離子干擾等。消除或減小質(zhì)譜干擾的方法有：選擇測定質(zhì)量數(shù)、加干擾校正方程、基體分離、冷電等離子體技術(shù)、等離子體屏蔽技術(shù)、碰撞／反應(yīng)池技術(shù)等；采用高分辨率質(zhì)譜儀也能有效降低質(zhì)譜干擾。