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超純水是一種十分純凈的水，其純度可以達(dá)到千萬(wàn)分之一甚至更高的級(jí)別。超純水在電子、半導(dǎo)體、光學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，是這些行業(yè)中的重要物質(zhì)。
集成電路生產(chǎn)中，對(duì)于清洗用水的水質(zhì)有著很高的要求，一旦清洗用水中含有雜質(zhì)，就會(huì)產(chǎn)生水垢，影響其電阻率，影響其成品率，超純水設(shè)備生產(chǎn)的超純水的電阻率可達(dá)到18MΩ*cm，符合集成電路清洗用水要求。
超純水的制作過(guò)程可以分為三個(gè)步驟：預(yù)處理、反滲透和離子交換。
1.預(yù)處理
在制作超純水之前，需要對(duì)水進(jìn)行預(yù)處理。這一步驟的目的是去除水中的雜質(zhì)和有機(jī)物，使水質(zhì)更加純凈。預(yù)處理主要包括機(jī)械過(guò)濾、活性炭吸附、超濾等工藝。機(jī)械過(guò)濾是將水通過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾，去除大顆粒雜質(zhì);活性炭吸附則是利用活性炭對(duì)水中的有機(jī)物進(jìn)行吸附;超濾則是通過(guò)超濾膜對(duì)水進(jìn)行過(guò)濾，去除細(xì)小的顆粒和有機(jī)物。
2.反滲透
反滲透是超純水制作的核心步驟，也是最關(guān)鍵的一步。反滲透是利用半透膜對(duì)水進(jìn)行過(guò)濾，將水中的雜質(zhì)、離子等有害物質(zhì)去除，從而得到純凈的水。反滲透膜通常采用的是薄膜復(fù)合材料，其孔徑只有幾納米，可以有效地去除水中的離子和雜質(zhì)。反滲透過(guò)程需要施加高壓，以便將水壓力驅(qū)動(dòng)通過(guò)半透膜，去除水中的雜質(zhì)和離子。
3.離子交換
離子交換是對(duì)超純水進(jìn)行最后的精細(xì)處理，以確保水的純度達(dá)到很高。離子交換是將超純水通過(guò)離子交換樹(shù)脂床，去除水中的離子和雜質(zhì)。離子交換樹(shù)脂床通常采用的是陰離子交換樹(shù)脂和陽(yáng)離子交換樹(shù)脂，可以有效地去除水中的離子和雜質(zhì)，從而得到純度更高的超純水。
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