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超純水系統(tǒng)技術應用 為中國“芯”用水保駕護航

2021-10-20  閱讀(416)

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  雖然中國“芯"制造業(yè)發(fā)展的如火如荼,但在繁榮背后,也有隱憂。作為芯片產(chǎn)業(yè)的重要配套,芯片產(chǎn)業(yè)水處理成為行業(yè)熱點。雖然行業(yè)內(nèi)也存在不少相關企業(yè),但實際上目前市場上做芯片水處理的企業(yè)主要集中在中低端市場,生產(chǎn)高質(zhì)量超純水投資巨大,長時間的投入也意味著項目的周期長,因此在行業(yè)提升的挑戰(zhàn)真正到來之前,愿意投入大量資本去等候收益的機構(gòu)并不多。

  膜分離技術作為*具有發(fā)展前途的一項重大技術,具有節(jié)能、環(huán)保、高效等特點。反滲透、膜蒸餾、超濾、納濾等因具有能耗小、成本低等優(yōu)點,成為一類高效膜濃縮技術,均已在芯片生產(chǎn)工藝中顯示了效率高、耗能少、操作方便等重大優(yōu)勢。

  綜合考慮系統(tǒng)進水水質(zhì)情況及為保證膜分離系統(tǒng)的穩(wěn)定運行,萊特萊德采用“微砂多級過濾系統(tǒng)+Neterfo-GA極限分離系統(tǒng)(亞滲透)+Neterfo-HRLE極限分離系統(tǒng)+Clean-EDI系統(tǒng)"相結(jié)合的工藝來制備超純水。其中Neterfo-GA系列極限分離系統(tǒng)(亞滲透)可實現(xiàn)低壓系統(tǒng)運行與高回收率并存,Neterfo-HRLE系列極限分離系統(tǒng)可截留TDS、COD,中高運行壓力下?lián)碛休^高的脫鹽率,通過優(yōu)異的系統(tǒng)設計實現(xiàn)低能耗和高回收率。其出水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃),符合芯片生產(chǎn)用水需求。

  作為一個水密集的行業(yè),超純水在芯片生產(chǎn)過程中的使用量非常大,對于芯片質(zhì)量的影響也很大。萊特萊德超純水系統(tǒng)結(jié)合“混床+電滲析"兩大工藝特點,采用低壓循環(huán)再生模式,低能耗,模塊恢復性能佳。且在更換樹脂床或使用化學試劑進行樹脂再生時并不需要關閉系統(tǒng),很大限度地減少了水的質(zhì)量不穩(wěn)定因素,為中國“芯"用水保駕護航。


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