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超純水設(shè)備能否符合微電子用水需求

2021-10-15  閱讀(1484)

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  集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高,微電子行業(yè)在生產(chǎn)時(shí)80%以上的工序都需要經(jīng)過(guò)化學(xué)處理,而每一道化學(xué)處理都離不開(kāi)水,因此微電子行業(yè)對(duì)于生產(chǎn)用水的水質(zhì)要求也是相當(dāng)嚴(yán)格,因?yàn)橐坏┧|(zhì)不合格,或者是水中含有雜質(zhì),就會(huì)降低器件的性能,降低成品率,因此在生產(chǎn)時(shí)需要用到超純水。

  

 

  傳統(tǒng)的超純水制取工藝是采用陰陽(yáng)樹(shù)脂交換設(shè)備,該工藝的缺點(diǎn)在于樹(shù)脂在使用一段時(shí)間以后要經(jīng)常再生。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟,采用反滲透工藝,或是采用反滲透后面再經(jīng)過(guò)EDI及拋光混床工藝來(lái)制取超純水,出水電導(dǎo)率最終可達(dá)18.2MΩ,滿(mǎn)足了芯片行業(yè)的用水需求。

  超純水設(shè)備的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力,使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜,從而使?jié)B透過(guò)的純凈水和無(wú)法滲透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格地分開(kāi)。

  萊特萊德超純水設(shè)備具有連續(xù)出水、無(wú)需酸堿再生和無(wú)人值守、安裝簡(jiǎn)便、操作方便等優(yōu)勢(shì),出水水質(zhì)符合電池用水相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),為新能源汽車(chē)用水保駕護(hù)航。另外,超純水設(shè)備在醫(yī)藥、電子、電力、化工等行業(yè)都有著廣泛的應(yīng)用。

 

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