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萊特萊德（上海）技術(shù)有限公司
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電子濕化學(xué)品又稱超凈高純度試劑或工藝化學(xué)品，是指主要成分純度大于99.99%，雜質(zhì)離子和顆粒數(shù)量符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑。它是一種重要的晶圓制造材料。2020年市場(chǎng)規(guī)模占4%。高純度產(chǎn)品主要由上游硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨、*、氫氧化鉀、丙酮、乙醇和異丙醇經(jīng)預(yù)處理、過(guò)濾和純化而成。下游應(yīng)用主要是光伏太陽(yáng)能電池、平板顯示器和半導(dǎo)體，主要用于清晰度、蝕刻、摻雜、顯影、晶圓表面處理、薄膜去除、光刻膠去除等工藝。
硼是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的一種P型雜質(zhì)。過(guò)量會(huì)使N型硅反轉(zhuǎn)，從而影響電子和空穴的濃度。因此，在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)指南ASTM-D5127-13要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達(dá)到較低的指標(biāo)，則半導(dǎo)體的性能將得到改善。
電子濕化學(xué)品對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、DO和顆粒有特別嚴(yán)格的要求。我國(guó)常用的超純水標(biāo)準(zhǔn)有國(guó)標(biāo)《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)《電子和半導(dǎo)體行業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》ASTM-D5127-13)。美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)指標(biāo)要求更嚴(yán)格。
Huncotte系統(tǒng)選用核級(jí)樹(shù)脂，可通過(guò)*的靶向離子交換樹(shù)脂有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測(cè)硼離子含量，并對(duì)硼離子流出物進(jìn)行分析≤0.005μG/L遠(yuǎn)低于硼離子的要求≤ASTM-D5127-13標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中的0.05μg/L。相信更高質(zhì)量的超純水品質(zhì)可以為電子濕化學(xué)品帶來(lái)更好的性能，為電子濕化學(xué)品企業(yè)帶來(lái)更強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。
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