芯片清洗機(jī)晶片清洗機(jī)
1設(shè)備名稱：硅芯片清洗機(jī)晶片清洗機(jī)
2 清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；

3  工藝說明:手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。

4  設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。

5  腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性；

6  工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定；

7 機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。

8  DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；

9  配有分體式廢液回收系統(tǒng)；

10藥液供給及補(bǔ)液方式: 分體式CDS自動(dòng)供液系統(tǒng)