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氮化鎵清洗機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

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更新時間：2018-05-15 16:21:46瀏覽次數(shù)：6797次

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氮化鎵清洗機
※ 設備用于氮化鎵的清洗腐蝕，亦可用于其他半導體基片的清洗。
※ 清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette； ※ 工藝參數(shù)

 

氮化鎵清洗機
※ 設備用于氮化鎵的清洗腐蝕，亦可用于其他半導體基片的清洗。
※清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※  工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。
※ 設備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性；
※ 工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設定；
※  機臺前方為清洗工作區(qū)域，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。
※  藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)
※ DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；
※  配有分體式廢液回收系統(tǒng)；

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