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半自動GAN/GaAs外延片清洗機返回列表頁

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更新時間：2018-05-15 16:21:46瀏覽次數(shù)：8378次

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產(chǎn)品簡介

半自動GAN/GaAs外延片清洗機
※ 控制模式: 手動控制模式自動控制模式。
※清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件

詳情介紹

半自動GAN/GaAs外延片清洗機

※ 控制模式: 手動控制模式自動控制模式。

※清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；

※ 工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。

※ 設備形式: 室內放置型。

※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性；

※ 工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定；

※ 機臺前方為清洗工作區(qū)域，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。

※ 藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)

※ DI槽配有在線式水質檢測裝置；

※ 配有分體式廢液回收系統(tǒng)；