一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強(qiáng)、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。

二.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

三.激光干涉儀測量方法

進(jìn)行線性測量的一般步驟 
　　（1）安裝設(shè)置激光干涉儀 
　?。?/span>2）將激光束與被測量的軸校準(zhǔn) 
　　（3）啟動測量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。 
　?。?/span>4）在機(jī)床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù)。 
　?。?/span>5）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補(bǔ)償文件。 
　　光束快速準(zhǔn)直步驟 
　?。?/span>1）沿著運(yùn)動軸將反射鏡與干涉鏡分開。 
　?。?/span>2）移動機(jī)床工作臺，當(dāng)光束離開光靶外圓時停止移動。 
　　垂直光束調(diào)整 
　　（3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。 
　?。?/span>4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。 
　　水平光束調(diào)整 
　　（5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。 
　?。?/span>6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。 
　?。?/span>7）沿著運(yùn)動軸重新開始移動機(jī)床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準(zhǔn)直。 
　?。?/span>8）達(dá)到軸的末端時，將機(jī)床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。 
　　重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個運(yùn)動軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。 
　　（9）保持光束和測量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測量位置。當(dāng)反光鏡沿著機(jī)床的整個運(yùn)動長度移動時，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強(qiáng)度。