近年來，已開發(fā)出僅用一臺泵就能實現(xiàn)從大氣到高真空的新型真空泵。一般說來，要獲得高真空、超高真空和*真空，還是需要串聯(lián)多臺真空泵構(gòu)成機組來實現(xiàn)正確了解泵的工作原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特點及分類，對于選擇經(jīng)濟適用的真空泵，實現(xiàn)所需真空，是非常重要的。
真空泵的分類
氣體傳輸泵：氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達到抽氣目的的真空泵
容積真空泵：是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置，氣體排出前被壓縮。
往復式真空泵：利用活塞的往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出，又稱為活塞式真空泵。
旋轉(zhuǎn)式真空泵：利用泵腔活塞的旋轉(zhuǎn)運動，將氣體吸入、壓縮并排出。這類泵很多，主要有油封式機械泵、干式真空泵和液環(huán)真空泵等幾類。
動量傳輸式真空泵：利用高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給被抽氣體或氣體分子，使氣體不斷地從入口傳輸?shù)匠隹诘恼婵毡谩?/p>
分子泵：利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。主要有牽引分子泵、渦輪分子泵和復合分子泵三大類。
噴射真空泵：利用高速射流把氣體傳輸?shù)奖贸隹诘囊环N動量傳輸泵，適于粘滯流和過渡流狀態(tài)。主要有水噴射泵、氣體噴射泵和蒸汽噴射泵三大類。
擴散泵：以油或汞蒸氣作為工作介質(zhì)。汞擴散泵不帶分餾裝置，油擴散泵有分餾裝置
氣體捕集泵：氣體捕集泵是一種將被抽氣體吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，主要有兩種形式。
吸附泵：主要是依靠具有大表面積的吸附劑的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵，如吸附阱、吸氣泵；還有連續(xù)不斷的形成新鮮的吸氣劑膜的捕集式真空泵，如濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等。
低溫泵：利用低溫表面來冷凝捕集氣體的真空泵，如冷凝泵和小型制冷機低溫泵等。
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