法蘭接口

KF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào)，自動匹配器

氣體控制

標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

電源/功率

220V，50/60Hz，300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min 

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保，終身維護(hù)