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技術(shù)文章

非晶硅烘干用微波設(shè)備效果研究

發(fā)布時間:2018-4-20

  非晶硅烘干用微波效果研究  非晶硅在太陽輻射峰附近的光吸收系數(shù)比晶體硅大一個數(shù)量級。禁帶寬度1.7~1.8eV,而遷移率和少子壽命遠比晶體硅低,可以制成非晶硅場效應(yīng)晶體管;用于液晶顯示器件、集成式a—Si倒相器、集成式圖象傳感器、以及雙穩(wěn)態(tài)多諧振蕩器等器件中作為非線性器件;利用非晶硅膜可以制成各種光敏、位敏、力敏、熱敏等傳感器;利用非晶硅膜制做靜電復(fù)印感光膜,不僅復(fù)印速率會大大提高,而且圖象清晰,使用壽命長;等等。目前非晶硅的應(yīng)用正在日新月異地發(fā)展著,可以相信,在不久的將來,還會有更多的新器件產(chǎn)生。
  非晶硅微波烘干設(shè)備采用頻率為2450MHZ的高頻是磁波對非晶硅硅料進行穿透性的加熱,辟開非晶硅的導(dǎo)熱過程,實現(xiàn)非晶硅內(nèi)部快速升溫蒸發(fā)水分,達到烘干非晶硅的目的。
  非晶硅烘干用微波效果研究    非晶硅微波烘干設(shè)備特點:
  1、 選擇性加熱。因為水分子也對微波吸收,所以含水量高部份,吸收的微波功率多于含水量較低的部份。這也就是選擇性加熱的特點,利用了這一特點可以做到均勻加熱和均勻烘干。
  2、 節(jié)能。微波也是直接對物料進行作用,因而也沒有額外的熱能損失,爐內(nèi)的空氣是與相應(yīng)的容器都不會發(fā)熱,所以熱效率*,生產(chǎn)的環(huán)境也明顯改善,與遠紅外加熱相比可以節(jié)電30%。
  3、 時間短,效率高。微波加熱也是使被加熱物體本身成為發(fā)熱體,不需熱傳導(dǎo)的過程。微波是從四面八方穿透物體內(nèi)部里外同時使物體在很短時間內(nèi)達到均勻加熱,大大縮短了烘干時間。
  4、 易于控制,工藝。與常規(guī)方法比較,設(shè)備即開即用;沒有熱慣性,操作靈活方便;微波功率可調(diào),傳輸速度可調(diào)。在微波加熱,烘干中,無廢水,無廢氣,是一種安全無害的*。

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