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ISO14644 分級	對應(yīng)傳統(tǒng)規(guī)格	氣流形式	平均風(fēng)速m/s	換氣次數(shù)	末端過濾器 效率	過濾器檢測 方法
ISO1					≥99.9999%	掃描
ISO2		U	0.3-0.5		≥99.9999%	掃描
ISO3	1	U	0.3-0.5		≥99.9999%	掃描
ISO4	10	U	0.3-0.5		≥99.9999%	總效率或掃 描
ISO5	100	U		70-160	≥99.97%	總效率或掃 描
ISO6	1，000	N M		20-70	≥99.97%	總效率或掃 描
ISO7	10，000	N M		10-20	≥99.97%	總效率或掃 描
ISO8	10，000	N M			≥99.97%	總效率或掃 描
ISO9	100，000

注:U-單向流,N-非單向流,M-單向與非單流

   單向流潔凈室也稱"層流"或勻流潔凈室，這種潔凈室的平均風(fēng)速至關(guān)重要，粉塵的自由擴(kuò)散速度是0.15-0.2m/s,如果風(fēng)速壓不住粉塵的擴(kuò)散速度,使用效率再高的過濾器也達(dá)不到預(yù)期的效果。

   非單向流潔凈室，也稱亂流潔凈室，潔凈室靠送風(fēng)來稀釋塵埃，以達(dá)到一定的潔凈度要求。亂流潔凈室由于室內(nèi)操作人員較多、設(shè)備和生產(chǎn)過程中發(fā)塵量也較大，效率的高低不是決定性因素

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