Hiden RGA 系列殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers)用于對(duì)真空診斷的精確分析，進(jìn)行過(guò)程中產(chǎn)生氣體的分析。

  · 殘余氣體或泄漏檢測(cè)
  · 實(shí)質(zhì)泄漏或脫附分析
  · 除氣研究
  · 烘烤周期
  · 泵效能
  · 腔室/過(guò)程氣體污染物

特點(diǎn)： 

   · 靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
   · 穩(wěn)定性（24小時(shí)以上，峰高變化小于±0.5%）
   · MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統(tǒng)控制
   · 快速顯示柱狀圖、趨勢(shì)分析和信號(hào)峰
   · 混合模式掃描，多個(gè)窗口顯示信息，例如趨勢(shì)、柱狀圖和信號(hào)峰
   · 同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
   · 同步背景扣除，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表
   · 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備
   · 即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如
      Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制軟件等 

HAL RGA 四極質(zhì)譜儀來(lái)源于:北京英格海德分析技術(shù)有限公司