單晶硅烘箱概念
單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。

單晶硅烘箱特點
1、本系列單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
2、本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯 示出工作溫度，直觀易讀。
3、工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫；能自動切斷電源，保護設備和產(chǎn)品。
4、該設備具有超溫報警，恒溫計時功能。

工作原理
1、單晶硅烘箱箱體結構: 設計，箱體采用數(shù)控機床加工成型，箱門采用式，操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板，外殼為A3板噴塑處理，更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側采用門式開啟，方便維護和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保烘箱的密閉性。
2、單晶硅烘箱控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表； Pt100鉑電阻測溫傳感器；
3、單晶硅烘箱保護系統(tǒng): 整機保護系統(tǒng)由超溫保護及報警裝置構成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好。