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北京艾瑪特科技有限公司


X-Y Planar Air Bearing System

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：李志剛查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-16 07:14:31瀏覽次數(shù)：203次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：365條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：李志剛 （銷售工程師）

產(chǎn)品簡介

X-Y Planar Air Bearing System

詳細(xì)介紹

Patent Pending X-Y Planar Motion System:
ALIO has developed the next generation of nano-precision X-Y Planar system for Semiconductor, FPD and other application needing less than 1 arc second of pitch, yaw and roll with picometer resolution over large volumes. The ALIO team took a new approach to the next generation of equipment needed for the FPD and metrology markets. Larger glass for Gen 7, 8 and beyond in FPB the issues of maintaining high volume and high yields during process and inspection the need for a new mechanical design to eliminate mechanical beam thermals, bending and orthogonality position errors. The ALIO X-Y Planar system decouples and isolates the X and Y beam thermals, sage and alignment issues in a novel but simple kinematic design.

The X-Y Planar system has an application dependant platen for open center or vacuum wafer chuck mounting.


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