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TONiC RSLM直線光柵系統(tǒng)
RSLM不銹鋼柵尺的性能可與小柵距玻璃光柵相媲美,長(zhǎng)度范圍卻遠(yuǎn)超后者,可達(dá)10 m。RSLM的整體精度(包括斜率誤差和線性誤差)在5 m的情況下可達(dá)±4 µm -- 實(shí)現(xiàn)水平! RSLM可以方便的成卷存放,一旦展開,就可以像柵尺一樣使用。 與具有±30 nm超低周期誤差(電子細(xì)分誤差 - SDE)的柵尺結(jié)合在一起,RSLM是測(cè)量精度要求嚴(yán)格的長(zhǎng)行程應(yīng)用場(chǎng)合的理想解決方案。
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