主要特點1、單獨使用時直排大氣的工作真空度可以達到150mbar。2、多級串聯(lián)或和其它前級泵泵串聯(lián)后可以達到中真空范圍。3、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計確保泵在高壓差和高壓縮比運行時不會過熱過載。4、三葉漸開線型線結(jié)構(gòu)和高精度機械加工確保產(chǎn)品運轉(zhuǎn)平穩(wěn)安靜。5、抽氣性能、噪聲、振動等主要性能比傳統(tǒng)二葉泵更有顯著提高。6、先進的平衡式機械密封使泵的密封性能比傳統(tǒng)骨架密封更可靠。7、泵腔為無油結(jié)構(gòu)，適用于

概況及原理
氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由轉(zhuǎn)子1、轉(zhuǎn)子2、泵體4、冷卻器7 等組成，由于其特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，使其可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行。冷卻氣體從泵體的兩側(cè)進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現(xiàn)過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何影響。右圖Ⅰ至圖Ⅴ是轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻器和電機是每臺泵*的附件，冷卻器和電機的規(guī)格是根據(jù)不同的工況而定。泵可以單獨使用也可以多臺串聯(lián)使用，或與液環(huán)真空泵和普通羅茨真空泵串聯(lián)成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。