無(wú)油螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。

無(wú)油螺桿真空泵主要特點(diǎn)

l 單級(jí)設(shè)計(jì)可以獲得1Pa的高真空，從大氣到極限真空可連續(xù)長(zhǎng)期運(yùn)行

l 螺桿材質(zhì)為整體式球墨鑄鐵，強(qiáng)度高、可靠性好

l 無(wú)油干式壓縮，可以抽除可凝性氣體，有毒有害氣體

l 吸氣腔內(nèi)部運(yùn)轉(zhuǎn)部件無(wú)接觸摩擦，可實(shí)現(xiàn)高速平穩(wěn)運(yùn)行

l 無(wú)油螺桿真空泵內(nèi)部零件可進(jìn)行防腐涂層處理，可適用于化工制藥行業(yè)的特殊要求

l 低噪聲、無(wú)振動(dòng)，適應(yīng)微電子、半導(dǎo)體等安靜環(huán)境的使用

l 泵腔無(wú)油結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，泵無(wú)廢氣、無(wú)廢液排放，特別適合氣體回收

l 可與羅茨真空泵、氣冷羅茨真空泵、分子泵組成高真空獲得設(shè)備