羅茨真空泵又稱機械增壓泵，是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個三葉轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙，通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)齒輪使二個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結(jié)構(gòu)原理圖，從圖Ⅰ至Ⅳ為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)并完成一次吸、排氣的過程。

羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率，但羅茨真空泵不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用。當(dāng)前級真空泵將系統(tǒng)壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力時，才可啟動羅茨真空泵。根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復(fù)式真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵所能達(dá)到的極限壓力有所不同。羅茨真空泵可廣泛應(yīng)用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設(shè)備、汽車制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。