羅茨真空泵又稱機械增壓泵，是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個三葉轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙，通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)齒輪使二個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結(jié)構(gòu)原理圖，從圖Ⅰ至Ⅳ為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)并完成一次吸、排氣的過程。

羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率，但羅茨真空泵不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用。當前級真空泵將系統(tǒng)壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力時，才可啟動羅茨真空泵。根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復(fù)式真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵所能達到的極限壓力有所不同。羅茨真空泵可廣泛應(yīng)用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設(shè)備、汽車制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。