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概述

Edwards 有源倒磁控管真空計(jì) (AIM) 在一個(gè)緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場(chǎng)合，均已證明這些真空計(jì)堅(jiān)固。

此真空計(jì)具有線性輸出，易于與計(jì)算機(jī)或 PLC 結(jié)合使用。

應(yīng)用

適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的需要穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機(jī)和熔爐再到科學(xué)儀器和半導(dǎo)體等應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢(shì)

驅(qū)動(dòng)電子模塊與規(guī)頭合并在一起，降低了系統(tǒng)成本并節(jié)省了寶貴的機(jī)架空間
低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供別的抗擾性，并允許使用長(zhǎng)電纜（長(zhǎng)可達(dá) 100 m）
低磁場(chǎng)型 XL 適用于性應(yīng)用，例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡。
可更換的管體允許快速更換管件而無需預(yù)校準(zhǔn)
已獲 CSA C/US 批準(zhǔn)
范圍、符合標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標(biāo)準(zhǔn)直流電，對(duì)電壓波動(dòng)有很好的承受力
0 到 +10 V 直流電壓的標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出和真空計(jì)標(biāo)識(shí)符允許輕松連接計(jì)算機(jī)或 PLC 和進(jìn)行故障輸出指示
電極維修套件允許用戶進(jìn)行清潔和維護(hù)
的放電器設(shè)計(jì)即使在高真空或污染環(huán)境下也可以快速放電
壓力范圍更大

數(shù)據(jù)

壓力范圍
AIM-X	10-2 至 10-9 mbar
準(zhǔn)確度	通常為 ±30%
大過壓	10 bar (145 psi)
電源供給	+13.5 至 +36 V 直流（大 1 V 波動(dòng)）
功耗	2 W（大）
輸出信號(hào)	2 至 10 V 直流
設(shè)定點(diǎn)	開路集電極晶體管
大電壓	40 V 直流
電流	100 mA（大）
溫度范圍
工作	+5 至 +60°C
存儲(chǔ)	0 至 +70 °C
暴露于真空中的材料
NW25 型	不銹鋼 304/306/347、氟橡膠、玻璃
內(nèi)部體積	26 cm3
重量	0.81 kg
外部接口連接器	8 路 FCC68/RJ45 插座
真空接頭	NW25
標(biāo)準(zhǔn)
電磁兼容性	EN 61326
	（B 類排放）
外殼等級(jí)	IP40