這類閥是軟啟動(dòng)的氣動(dòng)操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。

隨動(dòng)閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進(jìn)行，以盡可能減少干擾。隨動(dòng)閥和主閥都需要單獨(dú)的氣動(dòng)連接。

• 當(dāng)隨動(dòng)閥打開時(shí)，氣流以較低流速在閥的兩側(cè)間流過(guò)可更換孔板，實(shí)現(xiàn)慢抽速。達(dá)到用戶的預(yù)定義壓力級(jí)別后，主閥門會(huì)根據(jù)用戶提供的信號(hào)打開，實(shí)現(xiàn)全通徑泵送。
  波紋管密封的閥門單向執(zhí)行，采用氣動(dòng)打開，彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個(gè)可更換孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。標(biāo)準(zhǔn)配置中包含一個(gè)微開關(guān)，用于指示閥門狀態(tài)。閥門和微開關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣，防止制程氣體在閥門內(nèi)冷凝。
  盡管閥門主要設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體行業(yè)，但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。