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山東東南儀誠(chéng)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地濟(jì)南市
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更新時(shí)間:2025-01-10 08:20:37瀏覽次數(shù):122次
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型號(hào)PDC200PDC210PDC510等離子模式RIE(DP模式選配)RIE/DP電極構(gòu)造平行平板(固定)高頻輸出Max300WMax500W頻率13
| 型號(hào) | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 等離子模式 | RIE(DP模式選配) | RIE/DP | |
| 電極構(gòu)造 | 平行平板(固定) | ||
| 高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
| 反應(yīng)室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
| 電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) | ||
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | |
| 真空泵 | 另行選配 | 油泵(約345L/分)標(biāo)配 | 油泵(約500L/分)標(biāo)配 |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) | ||
| 外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
| 重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
| 電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
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