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PDC200 210 510 等離子清洗機(jī) 雅馬拓

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廠商性質(zhì)代理商

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)PDC200PDC210PDC510等離子模式RIE（DP模式選配）RIE/DP電極構(gòu)造平行平板（固定）高頻輸出Max300WMax500W頻率13

詳細(xì)介紹

型號(hào)PDC200PDC210PDC510
等離子模式RIE（DP模式選配）RIE/DP
電極構(gòu)造平行平板（固定）
高頻輸出Max300WMax500W
頻率13.56MHz
控制·顯示液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸W400×D250×H150mmW500×D300×H200mm
電極尺寸W250×D170mmW400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)鋁
反應(yīng)氣體2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制流量計(jì)聚合控制器
真空泵另行選配油泵（約345L/分）標(biāo)配油泵（約500L/分）標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)
外形尺寸W540×D600×H600mmW540×D600×H600mmW700×D700×H1285mm
重量約100kg約105kg約180kg
電源單相 AC100V 10A三相AC200V 6A三相AC200V 8A

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