詳細(xì)介紹

| 卡盤(pán)定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤(pán)類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%,三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個(gè)溫度傳感器,多區(qū)控溫,精確PID調(diào)節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求,可非標(biāo)定制 | |||||||


三溫Chuck探針臺(tái)卡盤(pán)是半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域的溫控承載設(shè)備,主要用于探針臺(tái)系統(tǒng)中固定晶圓并提供低溫、常溫、高溫三段式準(zhǔn)確溫度控制,適配半導(dǎo)體芯片三溫測(cè)試需求,是保障芯片性能評(píng)估準(zhǔn)確性的關(guān)鍵部件。
功能與工作原理
該設(shè)備通過(guò)真空吸附技術(shù)穩(wěn)固固定晶圓,搭載獨(dú)立溫控模塊實(shí)現(xiàn)三個(gè)溫區(qū)的分區(qū)調(diào)控,配合高精度溫度傳感器與閉環(huán)控制技術(shù),可準(zhǔn)確模擬芯片實(shí)際工作溫度環(huán)境。無(wú)錫冠亞恒溫Chuck探針臺(tái)卡盤(pán)控溫范圍達(dá)-65℃~200℃,控溫精度±0.5℃,溫場(chǎng)均勻性良好,確保晶圓表面溫差小,避免測(cè)試數(shù)據(jù)失真。
應(yīng)用場(chǎng)景與產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
廣泛應(yīng)用于8/12英寸晶圓電學(xué)測(cè)試、車(chē)規(guī)級(jí)芯片可靠性評(píng)估、功率器件建模測(cè)試等場(chǎng)景。無(wú)錫冠亞恒溫產(chǎn)品具備以下特點(diǎn):
1. 分區(qū)溫控設(shè)計(jì),支持多溫區(qū)協(xié)同工作,適配復(fù)雜測(cè)試需求
2. 優(yōu)化式真空吸附結(jié)構(gòu),吸附力均勻穩(wěn)定,避免晶圓損傷
3. 兼容多種規(guī)格晶圓,無(wú)需更換配件即可快速切換測(cè)試需求
4. 運(yùn)行數(shù)據(jù)可記錄導(dǎo)出,便于測(cè)試過(guò)程追溯與分析
作為專業(yè)三溫Chuck探針臺(tái)卡盤(pán)廠家,無(wú)錫冠亞恒溫憑借成熟溫控技術(shù),為半導(dǎo)體測(cè)試提供穩(wěn)定可靠的溫度控制解決方案,助力提升芯片測(cè)試效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。

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