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氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)是無錫冠亞恒溫推出的一款精密溫控設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的晶圓及器件測試場景，通過空氣制冷與電加熱結(jié)合的方式，實現(xiàn)對被測工件的準(zhǔn)確溫度控制與真空吸附定位。

氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)功能與技術(shù)特點

該系統(tǒng)作為探針臺配套部件，具備以下特點：

· 采用空氣制冷技術(shù)，無需液體冷媒或帕爾貼元件，運行安靜且維護便捷，規(guī)避泄漏風(fēng)險

· 溫度控制范圍覆蓋-65℃~+200℃（可定制），滿足各類變溫測試需求

· 內(nèi)置多區(qū)溫度傳感器，支持高精度FID調(diào)節(jié)控溫，確保溫度均勻性與穩(wěn)定性

· 提供8寸、12寸標(biāo)準(zhǔn)卡盤及非標(biāo)定制，適配不同尺寸晶圓與測試需求

· 兼容真空吸附功能，保障測試過程中工件定位準(zhǔn)確，提升數(shù)據(jù)一致性

氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)chiller應(yīng)用場景與價值

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓變溫電學(xué)測試、功率器件建模、可靠性評估、射頻變溫測試等領(lǐng)域，尤其適合低噪音、高絕緣性要求的測試環(huán)境。無錫冠亞恒溫憑借多年溫控技術(shù)積累，該系統(tǒng)可與探針臺、ATE自動測試設(shè)備無縫集成，為用戶提供穩(wěn)定可靠的溫控解決方案，助力提升測試效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。