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廣東科視光學技術股份有限公司

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12X近紫外DI光刻機-標準單臺面

12X近紫外DI光刻機-標準單臺面
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具體成交價以合同協議為準
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更新時間:2024-10-17 11:04:38瀏覽次數:424

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【簡單介紹】
12X近紫外DI光刻機-標準單臺面
【詳細說明】

12X近紫外DI光刻機-標準單臺面

類別 項目描述 KST-DI2824-12FHS   備注
基材 基材尺寸(MAX) 740mm x 638mm    
  基材尺寸(MIN) 740mm x 510mm[可壓邊]304mm x 304mm[不可壓邊]    
  基材厚度 0.05-3.5mm  
  壓板機構 針對客戶板定制 工藝不同
解析度L/S 橋/開窗尺寸 50um/75um  
  線寬解析精度 ±5um  
  光源景深 ±300um  
制程 感光材料 普通防焊油墨;高亮油墨;LDI專用油墨;  
  均勻性 大于等于90%  
  光源頻譜 385~405nm  
  光源總功率 528W  
  應用范圍 硬板,柔性板,軟硬結合板  
  適用工序 防焊工藝;阻焊工藝;  
文件輸入形式 資料輸入 Gerber274X;Gerber274D(強烈不推薦此種格式)  
裝機需求 電源供應   三相,AC380V 50HZ 15KW 不含冰水機等功率
  純凈水需求 15~20L(風冷冰水機,水冷冰水機)  
  單機設備重量   4500kg(參考值,不同配置重量不同)  
  外形尺寸(參考)   (W * D * H) 1550mm X2750mm X2150mm  
  無塵環(huán)境溫度 22±2°C  
  相對環(huán)境濕度 45~60%(不結露)  
  無塵等級 10W CLASS 或以上  
特殊應用 圖形漲縮管理 固定漲縮;測量漲縮;自動漲縮;  
  掃碼MARK功能 打印日期;時間;序號;漲縮系數等;  
應用管理 漲縮管理 局部漲縮;區(qū)域漲縮;  
  資料輸入 ODB++  
  有孔對位 正面對位  
  臺面系統(tǒng)定制 壓板機構  
  多區(qū)域曝光 有  
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