GYA-4HC型高純材料的生產(chǎn)用氬氣凈化機(jī)

GYA-4HC型氬氣凈化機(jī)主要用于電子、半導(dǎo)體、高純材料、原子能、鋰電池等行業(yè)的生產(chǎn)和封裝用氣。

凈化原理

該系列凈化機(jī)是利用催化劑與氧氣反應(yīng)生成金屬氧化物的原理除去氬氣中的雜質(zhì)氧氣，再利用吸附劑吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質(zhì)，從而得到高純氬氣的。

GYA-4HC型氬氣凈化機(jī)技術(shù)參數(shù)

對(duì)原料氬氣的要求

一般瓶裝純氬，液氬、控制較好的管道氬氣。

雜質(zhì)要求： O2≤500PPm, H2O≤1000PPm。

輸出純氣

純度：99.9999%

雜質(zhì)含量：
O2≤0.1PPm，
H2O≤0.5PPm（即露點(diǎn)≤－80℃），
CO+CO2≤0.1PPm，

塵埃粒子數(shù)（≥0.3μm）3-5個(gè)／升。

工作壓力：0.4-1.5MPa。

處理氣量：4NM3/h（其他流量需要定制）。

GYA-4HC型氬氣凈化機(jī)設(shè)備特點(diǎn)

除氧催化劑活性高，工作溫度低，設(shè)備更節(jié)能。閥門全為不銹鋼波紋管閥門，幾乎無(wú)泄漏，故設(shè)備更可靠。本機(jī)為雙式結(jié)構(gòu)，一組工作，另一組再生備用，故能*連續(xù)供氣，一臺(tái)能頂兩臺(tái)單 式凈化機(jī)使用。本機(jī)可再生反復(fù)使用，設(shè)備壽命長(zhǎng)，平均使用壽命大于10年。

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