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自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀 TPY-2型

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更新時(shí)間：2018-03-16 18:07:48瀏覽次數(shù)：2948次

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天津盛達(dá)三合光學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品特點(diǎn)：
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

產(chǎn)品特點(diǎn)：

儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10

測(cè)量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°

度盤刻度：每格1度允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

偏振器步進(jìn)角：0.014°/步偏振器方位角范圍：0°- 180°

測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005

儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）