懸浮粒子是懸浮在空氣中的塵埃粒子，與表面粒子不同（表面粒子是附在設備表面的塵埃粒子）。蘇信系列的塵埃粒子計數(shù)器即是檢測懸浮粒子的儀器。

*，不同等級的潔凈室對懸浮粒子的要求也是不盡相同。所以，企業(yè)需要通過檢測儀器測試懸浮粒子的濃度。

懸浮粒子計數(shù)器

懸浮粒子計數(shù)器應采用以下任意一種：

1.光散射粒子計數(shù)器（用于粒徑大于或等于0.5μm的懸浮粒子計數(shù)）；

2.激光粒子計數(shù)器（用于粒徑大于或等于0.1μm的懸浮粒子計數(shù)）。

光散射粒子計數(shù)器原理：空氣中的懸浮粒子在光的照射下產(chǎn)生光散射現(xiàn)象，散射光的強度與懸浮粒子的表面積成正比。

激光粒子計數(shù)器原理：空氣中的懸浮粒子在激光束的照射下產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，衍射光的強度與懸浮粒子的體積成正比。

懸浮粒子測試要點

1.必須按照測試儀器的檢定周期，定期對測試儀器做檢定。應使用檢定合格，且在使用有效期內的儀器。

2.測試儀器在未進入被測區(qū)域時，若必需，則先清潔表面，或在相應的潔凈室內準備和存放(用保護罩或其他適當?shù)赝庹直Ｗo儀器)。

3.在100級潔凈室內用紙時，上面應蒙上一張透明不沾塵的覆蓋物，在100級潔凈室內不能用鉛筆和橡皮。

4.使用測試儀器時應嚴格按照儀器說明書操作。

（1）儀器開機，預熱至穩(wěn)定后,，方可按測試儀器說明書的規(guī)定對儀器進行校正，同時檢查采樣流量和等動力采樣頭。

（2）采樣管口置于采樣點采樣時，在計數(shù)趨于穩(wěn)定后，開始連續(xù)讀數(shù)。

（3）采樣管必須干凈，嚴禁滲漏。

（4）采樣管的長度應根據(jù)儀器的允許長度。除另有規(guī)定外，長度不得大于1.5m。

（5）粒子計數(shù)器采樣口和儀器工作位置宜處在同一氣壓和溫度下，以免產(chǎn)生測量偏差。

懸浮粒子測試規(guī)則

1.測試條件

在測試之前，要對潔凈室（區(qū)）相關參數(shù)進行預先測試，這類測試將會提供測試懸浮粒子的環(huán)境條件，例如這種預先測試或可包括：

（1）溫度和相對濕度的測試。潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應與其生產(chǎn)及工藝要求相適應（無特殊要求時，溫度在18℃~26℃，相對濕度在45%~65%為宜），同時應滿足測試儀器的使用范圍；

（2）室內送風量或風速的測試，或壓差的測試；

（3）高效過濾器的泄漏測試。

2.測試狀態(tài)

空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)三種狀態(tài)均可進行測試。

空態(tài)或靜態(tài)測試時，室內測試人員不得多于2人。

測試報告中應標明測試時所采用的狀態(tài)和室內的測試人員數(shù)。

3.測試時間

（1）在空態(tài)或靜態(tài)a測試時，對單向流潔凈室（區(qū)）而言，測試宜在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于10min后開始；對非單向流潔凈室（區(qū)），測試宜在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于30min后開始。

在靜態(tài)b測試時,對單向流潔凈室（區(qū)），測試宜在生產(chǎn)操作人員撒離現(xiàn)場并經(jīng)過10min自凈后開始；對非單向流潔凈室（區(qū)），測試宜在生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過20min自凈后開始。

（2）在動態(tài)測試時，則須記錄生產(chǎn)開始的時間以及測試時間。