UV計(jì)測(cè)器

紫外線(xiàn)照度計(jì)●光量計(jì)UV-M03A

小型?軽量な、ハンディタイプ計(jì)測(cè)器です。紫外線(xiàn)ランプを搭載した裝置を製造現(xiàn)場(chǎng)で管理する目的に適しています。紫外線(xiàn)ランプのUV照射量(照度?光量)管理にご使用ください。

◆ 特　徴

★露光裝置の照度と光量の管理が手軽にできる小型?軽量のハンディタイプです。

★紫外線(xiàn)照度と光量が手軽に測(cè)定できます。

★受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてＵＶ－２５，３５，４２用をご選択いただきます。ただし電子回路（プリント）基板の製造工程でお使いの場(chǎng)合にはＵＶ－ＳＮ２５，ＵＶ－ＳＮ３５，ＵＶ－ＳＮ４２を、半導(dǎo)體、液晶用基板の製造工程でお使いの場(chǎng)合にはＵＶ－ＳＤ２５，ＵＶ－ＳＤ３５，ＵＶ－ＳＤ４２をご選択されるように推奨します

★測(cè)定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。

★アナログ出力も備えています。

◆ ＳＤ型とＳＮ型について

ＳＮ型は古くから當(dāng)社製の露光裝置や照射裝置等をお使いいただいているお客様に広く採(cǎi)用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。

?。樱男亭习雽?dǎo)體や液晶用基板の製造プロセスの現(xiàn)場(chǎng)で、すでに他社製の照度計(jì)をお使いのお客様が、それらの計(jì)測(cè)器とのデータの互換性確保を重視される場(chǎng)合（當(dāng)社製の露光裝置でも投影型露光裝置や液晶基板用の周辺露光裝置にはＳＤ型が採(cǎi)用されています）や、全く新規(guī)に照度計(jì)などをお使いになられるお客様に推奨しています。

◆ ＳＤ型とＳＮ型の指示値について

SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値（當(dāng)社計(jì)測(cè)グループで校正用の放射源として使用している高圧ＵＶランプの365nmの輝線(xiàn)を同一の測(cè)定條件で測(cè)定した時(shí)に示される照度の値： mＷ/ｃｍ２　表示）に対して３９％高く表示するように調(diào)整されています。

◆ 他社製照度計(jì)とのデータ互換性について

　可視光用の照度計(jì)（家庭?事務(wù)所?店舗?美術(shù)館などの明るさをＬＵＸ単位で測(cè)る照度計(jì)）と違い、紫外線(xiàn)用の照度計(jì)の全てに適用される規(guī)格は未だ整えられていません（ごく一部の限定された用途でＪＩＳ化の作業(yè)は行われているようです）。

　各社の相対分光感度は、３６５nmの輝線(xiàn)を主體とした光源による照度を測(cè)定する目的で作られていても、測(cè)定のピーク波長(zhǎng)（相対分光感度特性が１で示されている波長(zhǎng)）を初めとして、短波長(zhǎng)側(cè)（３００nm～３１０nm前後）と長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)（３８０nm～４００nm前後）の立ち上り、立ち下ろしの波長(zhǎng)とその前後の曲線(xiàn)が少しずつ異なっています。

　またＣＯＳθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲線(xiàn)に近づけようと、設(shè)計(jì)面で努力されていますが、中々実現(xiàn)されていないのが現(xiàn)実です。

          ◆ 仕　様

◆ UV計(jì)測(cè)器　受光器　分光感度特性