半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品純化設(shè)備

半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品純化設(shè)備是針對半導(dǎo)體清洗液、蝕刻液、剝離液、顯影液等濕化學(xué)品專項研發(fā)的高精度純化設(shè)備。該半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品純化設(shè)備整合亞沸精餾、精密過濾、離子交換、吸附除雜多重純化工藝，可高效去除物料中的金屬離子、顆粒物、有機雜質(zhì)、水分等微量污染物，出料純度契合半導(dǎo)體行業(yè)UP-SS超高純標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備全流程超凈密閉設(shè)計，核心部件無金屬污染，搭載智能自動化調(diào)控系統(tǒng)，運行穩(wěn)定、參數(shù)精準(zhǔn)，可實現(xiàn)連續(xù)化量產(chǎn)。設(shè)備適配各類酸堿類、溶劑類濕電子化學(xué)品精制，低損耗、高潔凈、易運維，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈濕化學(xué)品國產(chǎn)化量產(chǎn)的核心專用設(shè)備。