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美國(guó)Excel Precision 1001D雙頻激光頭

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更新時(shí)間：2026-09-16 10:26:27瀏覽次數(shù)：5次

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美國(guó)Excel Precision 1001D雙頻激光頭，專(zhuān)為超精密測(cè)量設(shè)計(jì)。采用塞曼穩(wěn)頻技術(shù)，輸出高穩(wěn)定性正交偏振光，具備抗干擾能力。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻機(jī)、精密光柵尺及納米級(jí)位移測(cè)量系統(tǒng)，是工業(yè)級(jí)高精度光學(xué)測(cè)量的核心光源組件

詳細(xì)介紹

美國(guó)Excel Precision 1001D雙頻激光頭 【設(shè)備概述】
Excel Precision 1001D 是一款高性能工業(yè)級(jí)雙頻氦氖（He-Ne）激光頭。作為高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)和激光干涉儀的核心“心臟"，它利用塞曼效應(yīng)（Zeeman Effect）穩(wěn)頻技術(shù)，能夠發(fā)射出頻率差極其穩(wěn)定的雙頻正交偏振激光。該設(shè)備專(zhuān)為對(duì)抗復(fù)雜工業(yè)環(huán)境干擾而生，為半導(dǎo)體制造、精密機(jī)床及計(jì)量?jī)x器提供納米級(jí)的測(cè)量基準(zhǔn)。
美國(guó)Excel Precision 1001D雙頻激光頭 【核心技術(shù)原理與優(yōu)勢(shì)】

  • 塞曼效應(yīng)穩(wěn)頻技術(shù)：通過(guò)在激光管內(nèi)施加縱向磁場(chǎng)，使氖原子能級(jí)分裂，產(chǎn)生兩個(gè)頻率極其穩(wěn)定且頻率差恒定的偏振光束。這種物理機(jī)制確保了光源的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，不受溫度漂移影響。

  • 外差干涉抗干擾：輸出的雙頻激光信號(hào)是穩(wěn)定的交流信號(hào)（通常在MHz級(jí)別）。相比單頻激光，它免疫環(huán)境光強(qiáng)波動(dòng)、空氣湍流或電子噪聲的干擾，確保在惡劣車(chē)間環(huán)境下依然保持較高的信噪比。

  • 納米級(jí)分辨率基準(zhǔn)：作為光學(xué)測(cè)量的“物理尺子"，它提供極精準(zhǔn)的頻率差基準(zhǔn)，配合干涉儀 optics 可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 0.3 nm 甚至更高的位移測(cè)量分辨率，滿(mǎn)足光刻機(jī)等設(shè)備的嚴(yán)苛要求。

【典型應(yīng)用場(chǎng)景】

  • 半導(dǎo)體與面板制造：廣泛集成于光刻機(jī)（Stepper/Scanner）、晶圓檢測(cè)設(shè)備、電子束曝光機(jī)及 FPD 陣列測(cè)試設(shè)備中，提供高精度的工件臺(tái)位置反饋。

  • 超精密數(shù)控機(jī)床：作為封閉式直線(xiàn)光柵尺或圓光柵尺的內(nèi)置光源，用于五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床、磨床的實(shí)時(shí)位置閉環(huán)控制，確保加工精度。

  • 高精度計(jì)量校準(zhǔn)：配合激光干涉儀組件，用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及大型導(dǎo)軌的線(xiàn)性位移、直線(xiàn)度與角度誤差校準(zhǔn)。

【技術(shù)規(guī)格與交付】

  • 激光類(lèi)型：雙頻正交線(xiàn)偏振 He-Ne 激光

  • 預(yù)熱時(shí)間：短預(yù)熱設(shè)計(jì)，快速達(dá)到熱平衡穩(wěn)定狀態(tài)

  • 供電要求：通常配套專(zhuān)用低壓高穩(wěn)流電源（如 DC 24V，具體視批次而定）

  • 標(biāo)準(zhǔn)交付清單：Excel Precision 1001D 激光頭主機(jī) × 1臺(tái)、原廠(chǎng)連接線(xiàn)纜 × 1套、產(chǎn)品合格證及操作手冊(cè) × 1份。



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