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秋山科技(東莞)有限公司
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更新時間:2026-09-07 09:35:44瀏覽次數(shù):16次
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**日本 AYUMI ML?03M 超高真空全金屬角閥**
全金屬結(jié)構(gòu)超高真空角閥,采用銅墊片密封邊緣結(jié)構(gòu),可承受高溫烘烤,適配 10 的負 8Pa 以下超高真空工況,ICF34 法蘭連接,用于真空設備管路通斷控制。
日本 AYUMI ML?03M 超高真空全金屬角閥日本 AYUMI ML?03M 超高真空全金屬角閥
設備基礎規(guī)格
型號:ML?03M
使用壓力:大氣壓至 10 的負 8Pa 以下
使用溫度范圍:0?300℃
泄漏量:6.7×10 的負 11Pa?m3/sec 以下
全開電導率:8.5L/sec
密封扭矩:5?7N?m
連接法蘭:ICF34
主體材質(zhì):SUS304
密封材料:OFC 無氧銅
波紋管材質(zhì):SUS304 成型波紋管
ML?03M 屬于全金屬結(jié)構(gòu)的超高真空角閥,密封部位采用銅墊片密封邊緣結(jié)構(gòu),所需緊固扭矩偏小,現(xiàn)場裝配操作更加便捷。設備支持 350 攝氏度烘烤處理,滿足真空腔體除氣工藝需求,可穩(wěn)定運行在 10 的負 8Pa 以下超高真空環(huán)境。閥門磁盤支持更換,后期維護可以單獨更換密封磁盤,無需整體更換閥體,降低設備使用成本。閥體本體與波紋管均采用 SUS304 不銹鋼,密封件選用 OFC 無氧銅,整體材質(zhì)適配真空環(huán)境,出氣量低。閥門采用 ICF34 標準法蘭,能夠直接對接同規(guī)格真空管路,全開狀態(tài)電導率可以達到 8.5L 每秒,保障管路氣體流通效率。密封扭矩控制在 5 至 7 牛米,操作人員使用扭矩扳手即可完成規(guī)范安裝,降低安裝失誤帶來的漏率風險。整體結(jié)構(gòu)緊湊,占用設備空間小,適配各類超高真空系統(tǒng)的管路通斷控制,金屬密封結(jié)構(gòu)不存在橡膠密封件老化問題,適合長期高溫工況下持續(xù)工作。
適用場景:半導體真空腔體管路控制;科研實驗室超高真空設備;鍍膜設備真空管路;各類需要高溫烘烤的真空系統(tǒng);工業(yè)超高真空裝置通斷管控。
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